Вакуумната инсталация е предназначена за нанасяне на покрития от различни метали или химични съединения на тяхна основа. Предимство на съоръжението е възможността да се получават еднослойни или многослойни еднокомпонентни покрития, както и еднослойни или многослойни многокомпонентни покрития.
Съоръжението се състои от:
✓ водоохлаждаема вакуумна камера – хоризонтален тип;
✓ високовакуумен помпен агрегат;
✓ електродъгови изпарители с водоохлаждаеми титанови електроди-катоди;
✓ електросъпротивителен нагревател;
✓ електрическо захранване и управление;
✓ дозираща газова система за Ar, N2, O2, CH4;
✓ водоохладителна система.
Размери на работното пространство, D x H, mm | 370 x 300 |
Нисковолтово електродъгово захранване, бр. | 3 |
Максимална работна температура, °С | 650 |
Пределен вакуум, hPa | 1.10-6 |