Български English

Вакуумна инсталация за нанасяне на трикомпонентни многослойни покрития чрез магнетронно разпрашаване

 Предназначение

Инсталацията служи за нанасяне на декоративни, корозионноустойчиви, отражателни и други функционални покрития върху стоманени, пластмасови, стъклени и други изделия от промишлеността. Върху изделията се нанасят метални покрития от хром-никелова стомана, алуминий, мед, титан, което означава, че за стоманени изделия се провеждат нискотемпературни процеси до 200 – 400 °С.

 Конструкция

Съоръжението е хоризонтален тип и се състои от:
✓ вакуумна камера;
✓ високовакуумен помпен агрегат;
✓ високоволтово импулсно електрическо захранване и управление за магнетронно разпрашване;
✓ високоволтово импулсно електрическо захранване и управление за почистване на изделията в тлеещ разряд;
✓ дозираща газова система за Ar, N2, O2, CH4 ;
✓ водоохладителна система.

 Технически характеристики

Размери на работната площ, D x H, mm 300 х 120
Максимална работна температура, °С 350
Пределен вакуум, hPa 7.10-6